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本实用新型提供了一种用于金刚石晶片超声去胶的去胶装置,包括:支撑架,设于超声去胶装置的外侧;载物架,一端与所述支撑架可拆卸设置,另一端延伸至所述超声去胶装置的顶部再朝下翻折延伸至所述超声去胶装置的去胶腔内形成载物部,所述载物部的顶部开设有与底部粘贴有金刚石晶片的治具相适配的容置槽,所述容置槽的槽底开设有去胶槽,所述容置槽与去胶槽之间呈台阶状设置,且所述去胶槽的直径大于所述金刚石晶片的直径,所述去胶槽的槽底开设有若干去胶通孔。可以实现对治具进行限位设置,避免受超声震荡影响,金刚石晶片与去胶槽的内壁
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 218475703 U
(45)授权公告日 2023.02.14
(21)申请号 202222848528.7
(22)申请日 2022.10.27
(73)专利权人 化合积电(厦门)半导体科技有限
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