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一种硅片清洗花篮.pdfVIP

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  • 2023-02-16 发布于四川
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一种硅片清洗花篮.pdf

    本实用新型公开了一种硅片清洗花篮，涉及硅片生产技术领域，包括花篮本体，所述花篮本体内壁的两侧均开设有连接槽，所述连接槽内部均放置有固定块，所述固定块远离连接槽的一端均固定连接有固定台，所述花篮本体靠近固定块的一侧均开设有解锁槽，本实用新型的有益效果为：该硅片清洗花篮，通过设置有永磁铁、电磁铁以及夹板，当需要固定硅片时，操作人员将硅片放置在凹槽上，操作人员通过外设控制设备启动电磁铁，电磁铁与永磁铁之间产生相吸的磁场，永磁铁带动夹板向硅片方向移动，直到将硅片固定住，本花篮能够适应不同直径硅片的固定清

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212625518 U (45)授权公告日 2021.02.26 (21)申请号 202021430217.3 (22)申请日 2020.07.20 (73)专利权人 山东民峰智能科技有限公司

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