四氯化硅冷氢化系统.pdfVIP

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2023-02-16 发布于四川
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四氯化硅冷氢化系统.pdf

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本实用新型公开了一种四氯化硅冷氢化系统。所述四氯化硅冷氢化系统包括：四氯化硅蒸发器；混合气过热器；气气换热器，气气换热器具有第一合成气进口和第一合成气出口；混合气加热器；和氢化反应器，氢化反应器包括：本体，本体具有反应腔、硅粉进口、第四混合气进口和第二合成气出口，第二合成气出口与第一合成气进口连通；气体分布器，气体分布器设在反应腔内，气体分布器位于第四混合气进口与硅粉进口之间，气体分布器具有多个气体分布孔；多个喷嘴，多个喷嘴一一对应地设在多个气体分布孔内，每个喷嘴的出口朝上。根据本实用新型实施例

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212581530 U (45)授权公告日 2021.02.23 (21)申请号 202021786071.6 (22)申请日 2020.08.24 (73)专利权人中国恩菲工程技术有限公司