一种晶振片自动切换系统.pdfVIP

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2023-02-16 发布于四川
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一种晶振片自动切换系统.pdf

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本实用新型涉及检测技术领域，具体涉及一种晶振片自动切换系统，包括：监测位，监测位适于设置与膜厚监控仪相连的连接端子；加热位，加热位上设有加热装置；承载结构，其上至少设有第一晶振片放置位、第二晶振片放置位，第一晶振片放置位、第二晶振片放置位均适于与连接端子连接，第一晶振片放置位或第二晶振片放置位与监测位相对并与连接端子相连时，第二晶振片放置位或第一晶振片放置位与加热位相对；驱动装置，用于驱动承载结构运动。加热后，晶振片上沉积的有机材料蒸发，驱动装置可驱动承载结构运动，晶振片可再次随晶振片放置位移动

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212610885 U (45)授权公告日 2021.02.26 (21)申请号 202020855738.7 (22)申请日 2020.05.20 (73)专利权人苏州清越光电科技股份有限公司