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一种基于硅片清洗的自动晃篮装置.pdfVIP

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  • 2023-02-17 发布于四川
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一种基于硅片清洗的自动晃篮装置.pdf

    本实用新型公开了一种基于硅片清洗的自动晃篮装置，包括循环冲水箱以及支撑板，所述支撑板安装于循环冲水箱上，所述支撑板上安装有晃篮功能结构，所述循环冲水箱上安装有加水控制结构；所述晃篮功能结构包括：基座箱、轴承以及晃篮功能部；本实用新型涉及硅片生产领域,本装置在结构方面进行研究改进，通过添加伺服电机以及齿轮配合工作驱动螺纹杆转动，螺纹杆转动带动清洗架组件升降，取代人工进行硅片清洗工作，装置中还添加水位检测组件检测剩余水量，装置中的电磁流量计用于检测加入的水量，使用中可以通过电控阀控制加水状态，使用本

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212659512 U (45)授权公告日 2021.03.05 (21)申请号 202021233556.2 (22)申请日 2020.06.30 (73)专利权人 济南紫源电子有限公司

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