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本实用新型公开了一种碲电解沉积装置，包括设置在同一水平面的配液釜、电解槽和位于低位的循环槽，电解槽上设置有导电铜排，配液釜和电解槽分别通过溢流管与循环槽连接，电解槽上侧设置有连通溢流管的溢流槽，所述的溢流管上设置有开关阀门和流量计，所述的开关阀门和流量计连接PLC控制柜，PLC控制柜内设置有与导电铜排连接的整流电源，所述的循环槽内设置有循环泵，所述的电解槽底端设置有进液口，所述的进液口通过循环管连接循环泵；电解液可在电解过程中边循环流动边电解，最大程度保证了电解过程中电解液离子浓度均匀性，提高了
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212640624 U
(45)授权公告日 2021.03.02
(21)申请号 202021126510.0
(22)申请日 2020.06.17
(73)专利权人 中
知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来， 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作， 经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
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