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- 2023-02-17 发布于四川
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本实用新型公开了一种超大载片量石英舟，包括侧板、定位块、伸缩杆、压挡板、硅片置板、弹性安装柱与底板，侧板设置于若干硅片置板的两侧，定位块与伸缩杆活动连接，伸缩杆的一端贯穿侧板设置于定位块的右端，伸缩杆的另一端与压挡板固定连接，压挡板贴合设置于硅片置板上，硅片置板设置有若干个，弹性安装柱固定设置于各硅片置板之间，底板设置于最底端硅片置板的底部，可通过在侧板之间增加硅片置板数量，进而提高承载硅片量。本实用新型通过硅片置板、弹性安装柱与侧板的配合使用，有效提高硅片置板可承载硅片数量，安装稳定，可承载不
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212648198 U
(45)授权公告日 2021.03.02
(21)申请号 202021711244.8
(22)申请日 2020.08.17
(73)专利权人 浙江泓芯半导体有限公司
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