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本实用新型公开了一种硅片清洗机用清洗槽，包括槽体，安装在槽体内壁的超声振子以及槽体内的用于夹持硅片的夹持机构，所述夹持机构有若干个阵列排布的夹持单元组成，夹持单元包括导轨、两块夹持板，导轨上开设导向槽，导轨的两端分别设有弹性夹紧组件；其中相邻的夹持单元内的导轨固定连接呈一体状，两块夹持板对称设于导轨上，夹持板的底端通过与所述导向槽配合的滑块滑动连接于导轨，两个弹性夹紧组件分别用于驱动同侧的夹持板向导轨的中部靠近，两块所述夹持板相靠近的侧面开设有用于夹持硅片的夹持槽。本实用新型结构简单，方便使用，
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212633657 U
(45)授权公告日 2021.03.02
(21)申请号 202020505528.5
(22)申请日 2020.04.09
(73)专利权人 金
知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来， 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作， 经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
版权声明书
用户编号：8063122115000010
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