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- 2023-02-17 发布于四川
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本实用新型公开了一种芯片加工用刻蚀装置，属于芯片加工领域，包括刻蚀箱，所述刻蚀箱侧面的底部固定连接有支撑底座，且刻蚀箱的顶部固定连接有安装板，所述安装板的中部固定套接有电动推杆，所述电动推杆的底端固定连接有夹具，所述夹具的底端螺纹套接有调节杆，所述调节杆的顶端固定连接有固定块；该芯片加工用刻蚀装置，通过设置夹具、调节杆和固定块，可以便于对芯片和掩模进行固定安装，使得两者之间能够紧密接触，且通过设置输液套、进液管、阀门和喷头，可以对芯片进行喷洒式刻蚀，避免了传统采用浸泡式刻蚀容易污染刻蚀液的问题，
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212659510 U
(45)授权公告日 2021.03.05
(21)申请号 201922366284.7
(22)申请日 2019.12.25
(73)专利权人 上海六联智能科技有限公司
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