一种基于硅片酸洗的自动供酸装置.pdfVIP

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2023-02-17 发布于四川
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一种基于硅片酸洗的自动供酸装置.pdf

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本实用新型公开了一种基于硅片酸洗的自动供酸装置，包括底板以及万向轮组件，所述万向轮组件安装于底板下壁面上，所述底板上安装有支撑组成结构以及酸液加注结构；本实用新型涉及自动供酸装置技术领域,本装置在结构方面进行研究改进，通过添加大酸箱进行酸液的储存，通过第一液位检测仪实施检测大酸箱中的酸液储量，在储量低于阈值时通过显示器和蜂鸣器提醒工作人员进行添加，在硅片生产清洗工作中，装置中的防腐蚀计量泵自动进行酸液输送，配合第一防酸四氟管和第二防酸四氟管输送至酸槽，酸槽中设置有第二液位检测仪，当第二液位检测仪

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212659511 U (45)授权公告日 2021.03.05 (21)申请号 202021213280.1 (22)申请日 2020.06.28 (73)专利权人济