一种气相法沉积料盘的密封装置.pdfVIP

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2023-02-18 发布于四川
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一种气相法沉积料盘的密封装置.pdf

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本实用新型属于光纤预制棒制备技术领域，更具体地，涉及一种气相法沉积料盘的密封。在制备掺稀土光纤预制棒时，需要将稀土螯合物及其共掺剂高纯粉末置于料盘中在高温下蒸发，由于使用料盘为金属材料，在使用过程中的磨损或变形容易导致料盘之间的泄露。本实用新型通过在料盘的内外沿上刻槽，再引入O‑ring，使得料盘之间可通过挤压O‑ring而形成密封，从而使载气及原材料蒸汽可以依次经过压盖、料盘R1、料盘R2、料盘R3、料盘R4、料盘R5、料盘R6再经过底盘上的气孔输送至输料管，避免了使用过程中料盘的变形或磨损导

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212669553 U (45)授权公告日 2021.03.09 (21)申请号 202021058427.4 (22)申请日 2020.06.10 (73)专利权人黄宏琪地址 43