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本实用新型公开了一种集成压电薄膜芯片和减速器的薄膜压电马达,包括压电薄膜芯片,一组转子齿轮,以及中心齿轮和/或内齿圈;所述的压电薄膜芯片上包含一组薄膜压电马达的定子,所述的定子与转子齿轮底部的转子平台形成旋转式压电马达单元;所述转子齿轮,中心齿轮和/或内齿圈的旋转轴相互平行且轴心位置固定,任一转子齿轮与中心齿轮和/或内齿圈相互啮合,转子齿轮的旋转方向相同,所述的薄膜压电马达的力矩由中心齿轮或内齿圈输出。本实用新型将压电薄膜芯片与减速器集成,充分利用压电薄膜芯片的潜能,设计得到大体积、大力矩、高旋
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212677098 U
(45)授权公告日 2021.03.09
(21)申请号 202021081758.X
(22)申请日 2020.06.12
(73)专利权人 江苏英特神斯科技有限公司
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