金刚石厚导电膜的生长装置.pdfVIP

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2023-02-18 发布于四川
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金刚石厚导电膜的生长装置.pdf

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本实用新型涉及金刚石加工设备技术领域，名称是金刚石厚导电膜的生长装置，包括一个成膜仓，所述的成膜仓侧面具有侧门，侧门和成膜仓可以气密性连接，还有一个成膜平台安装在成膜仓中，所述的成膜仓还连接有高压进气管，在成膜仓内还有电加热管；所述的电加热管可以使成膜仓温度达到300—350℃；所述的加热管是两层的，分别是上层电加热管和下层电加热管，所述的上层电加热管朝下对着成膜平台，所述的下层电加热管朝上对着成膜平台；这样的金刚石厚导电膜的生长装置可以生产出导电膜较厚的金刚石、满足一些客户需要的优点。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212669792 U (45)授权公告日 2021.03.09 (21)申请号 202021108461.8 (22)申请日 2020.06.16 (73)专利权人洛阳誉芯金刚石有限公司