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- 2023-02-18 发布于四川
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本发明提供了一种光学探测器及其制造方法。所述光学探测器包括衬底、微桥、若干介质结构和反射结构。所述反射结构的受光面包括若干第一反射凸起和若干第二反射凸起，所述若干第一反射凸起与所述若干介质结构一一对应排布，至少一个所述第二反射凸起位于相邻所述第一反射凸起之间，使得所述反射结构具有凹凸不平的表面，当入射光到达时会在该凹凸不平的表面发生多次反射和吸收，有利于提高对光的吸收效率。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115440833 A
(43)申请公布日 2022.12.06
(21)申请号 202211298671.1
(22)申请日 2022.10.24
(71)申请人 上海集成电路研发中心有限公司
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