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一种电子级AHF气体过滤装置.pdfVIP

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  • 2023-02-20 发布于四川
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一种电子级AHF气体过滤装置.pdf

    本实用新型公开了一种电子级AHF气体过滤装置，包括第一外管、AHF气体过滤内筒，所述第一外管的下端设置有插管，且第一外管的上端管口安装有AHF气体过滤内筒，所述第一外管的上端设置有第一连接结构，且第一连接结构的上端连接有第一对接结构，所述插管的下端设置有第二连接结构，且第二连接结构的下端连接有第二对接结构，所述第一对接结构下端另一个连接结构连接有第二外管。本实用新型所述的一种电子级AHF气体过滤装置，利用AHF气体过滤内筒漏出外管部分与第一连接结构相互配合，利用插管与第二连接结构相互配合，实现A

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212700945 U (45)授权公告日 2021.03.16 (21)申请号 202021120961.3 (22)申请日 2020.06.17 (73)专利权人 福建天甫电子材料有限公司

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