一种光刻机的硅片直线预矫正装置.pdfVIP

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2023-02-20 发布于四川
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一种光刻机的硅片直线预矫正装置.pdf

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本实用新型公开了一种光刻机的硅片直线预矫正装置，包括机架，所述机架上设置有由第一升降动力装置驱动的升降平台，所述直线预矫正装置安装于机架上，该直线预矫正装置包括水平滑座，所述水平滑座滑动安装于机架上且由水平动力装置驱动；所述水平滑座上设置有竖直支座，所述竖直支座上竖直滑动安装有一次升降座，所述一次升降座由第二升降动力装置驱动，所述一次升降座上还安装有顶推硅片盛放盒内硅片的矫正杆，所述矫正杆上设置有与硅片端部接触的柔性材料。该直线预矫正装置能够在硅片转移之前对硅片盛放盒内的硅片进行位置矫正，从而方

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212694245 U (45)授权公告日 2021.03.12 (21)申请号 202021705397.1 (22)申请日 2020.08.14 (73)专利权人山东华楷微电子装备有限公司