原创力文档- 4
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- 2023-02-20 发布于四川
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本实用新型公开了一种真空水平式蚀刻机，主要包括外框、供气泵、顶电极、均气板、底电极和真空泵，所述外框内侧中部设置有开口向前的加工腔，所述外框位于加工腔内侧上部固定安装有顶电极，所述外框位于加工腔内侧下部固定安装有底电极，底电极顶端侧壁固定安装有等距排列的凸块，凸块顶端设置为弧形。本实用新型在结构上设计合理，设备采用大电极板，配合双重均气设备，使得酸性空气与线路板的接触均匀程度更好，配合易更换的酸气清洁部件和简单高效的换气设备，使得装置加工更加高效。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212727580 U
(45)授权公告日 2021.03.16
(21)申请号 202021064996.X
(22)申请日 2020.06.09
(73)专利权人 珠海安普特科技有限公司
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