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一种用于单晶硅片的清洗架.pdfVIP

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  • 2023-02-20 发布于四川
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一种用于单晶硅片的清洗架.pdf

    一种用于单晶硅片的清洗架，包括主体框架、提手、加强板、安装板、滑板、挡板、限位弹簧、挂钩、固定环，所述主体框架由底部横杆、顶部横杆、纵杆构成立方体结构，顶部横杆与纵杆之间固定连接有加强板，所述主体框架的顶部两侧对称设有提手，所述主体框架上固定安装有安装板，安装板上通过螺栓水平安装有滑板，主体框架与挡板相对的另一端的底部横杆上设有固定环，所述底部横杆、顶部横杆之间设有限位弹簧。本实用新型杜绝了固定装置滑出清洗架的可能性，同时限位弹簧由于自身的弹性，使得固定装置在清洗的过程中发生位移撞击到限位弹簧时

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212703561 U (45)授权公告日 2021.03.16 (21)申请号 202021138076.8 (22)申请日 2020.06.18 (73)专利权人 天津众晶半导体材料有限公司

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