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一种化学气相沉积装置中的雾化结构.pdfVIP

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  • 2023-02-20 发布于四川
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一种化学气相沉积装置中的雾化结构.pdf

    本实用新型公开了一种化学气相沉积装置中的雾化结构，包括工作台、漏槽、支柱和伺服电机，所述工作台顶端的一侧固定连接有主壳体，且主壳体两侧的内部皆设置有第二开槽，所述主壳体内侧的两端皆固定连接有辅助结构，所述主壳体外部顶端的一侧固定连接有控制器，所述主壳体底端内部的中间位置处均匀设置有漏槽，所述工作台底端的一侧固定连接有雾化机构，所述工作台顶端的另一侧固定连接有烘干机构，所述工作台底端的四个拐角处皆固定连接有支柱。本实用新型通过在工作台底端的一侧固定连接有雾化机构，此种喷洒方式既使得两面均匀覆盖雾液

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212713750 U (45)授权公告日 2021.03.16 (21)申请号 202021177952.8 (22)申请日 2020.06.23 (73)专利权人 杭州英希捷科技有限责任公司

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