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- 2023-02-21 发布于四川
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本实用新型涉及硅片固定台领域，且公开了一种适应性强的硅片固定台，包括固定板，所述固定板的顶部安装有负压发生器，所述固定板的顶部安装有位于负压发生器上方的第一基座，所述第一基座的内部开设有与负压发生器的输出端连通的第一空腔，所述第一空腔的顶壁开设有第一吸气孔，所述固定板顶部的左右两侧均滑动连接有分别位于第一基座左右两侧的第二基座。该适应性强的硅片固定台，两个第二基座和两个第三基座之间的间距可以根据需要进行调节，进而能够更好的适应不同硅片的固定工作，通过不同的负压空间的形成，可以方便对不同大小的硅片
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212750842 U
(45)授权公告日 2021.03.19
(21)申请号 202021400406.6
(22)申请日 2020.07.15
(73)专利权人 环晟光伏（江苏）有限公司
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