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检测系统及光栅尺.pdfVIP

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  • 2023-02-21 发布于四川
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检测系统及光栅尺.pdf

    本实用新型公开了一种检测系统及光栅尺，其中，检测系统包括：光源模块，用于提供检测光束；分光模块，用于接收所述检测光束并进行分光处理以生成若干第一光束和若干第二光束；参考光栅模块，用于对所述第一光束进行调制并生成参考光；检测光栅模块，用于对所述第二光束进行调制并生成检测光；测量模块，用于对由所述参考光、所述检测光发生干涉所产生的相干光进行检测处理得到相干信息；根据所述相干信息得到检测光栅模块的位移变化量。该检测系统结构简单，受环境影响较小，能够实现高精度测量。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212747682 U (45)授权公告日 2021.03.19 (21)申请号 202021708709.4 (22)申请日 2020.08.14 (73)专利权人 清华大学深圳国际研究生院

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