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本实用新型提供一种PVD多弧真空镀膜机蒸发源,包括蒸发源本体和冷却水管,蒸发源本体内具有用于冷却安装于蒸发源本体上的靶块的冷却水腔,冷却水管为两根,冷却水管包括第一管体和第二管体,两根第一管体的前端分别连接冷却水腔的入口端和出口端,两根第一管体的后端均固设有连接头,两根第二管体的前端分别连接在两个连接头的后端,两根第二管体的后端均连接真空镀膜机的冷却水箱;连接头包括第一连接部和第二连接部。由于采用了上述技术方案,在真空镀膜机的真空腔的腔壁上拆卸蒸发源本体时更加方便;方便将蒸发源本体转移至操作室进
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212713728 U
(45)授权公告日 2021.03.16
(21)申请号 202021538701.8
(22)申请日 2020.07.28
(73)专利权人 重庆特钛超膜工贸有限公司
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