大锥度石英锥单晶炉.pdfVIP

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2023-02-21 发布于四川
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大锥度石英锥单晶炉.pdf

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一种大锥度石英锥单晶炉，包括炉体、隔离阀、上炉筒、提升机构、提拉头、二次加料装置，所述二次加料装置包括钼杆、石英管、石英锥、支撑环，所述钼杆的下端穿过石英管，所述钼杆的下端与石英锥的锥端连接，所述支撑环的内径等于不等径石英管的外径，所述支撑环套装在不等径石英管的外环壁上，所述支撑环卡装在上炉筒内侧的底部，所述石英锥相对锥端的一端直径不小于石英管的内径，所述石英锥为实心体，所述石英锥的锥度值为2tan30°，本实用新型中，石英锥内部采用实心结构，更加厚实，改变了石英锥的角度，使得硅料滑落碰到石英锥

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212741579 U (45)授权公告日 2021.03.19 (21)申请号 202020949519.5 (22)申请日 2020.05.29 (73)专利权人宁夏中欣晶圆半导体科技有限公