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多工位点胶机.pdfVIP

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  • 2023-02-21 发布于四川
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多工位点胶机.pdf

    本发明公开了一种多工位点胶机，包括：上下料机构，内限定有活动空间，上下料机构的外围设有数个加工工位，上下料机构在活动空间与各个加工工位之间往复运动以输送晶圆，数个所述加工工位包括一个定位工位、一个预热工位及多个点胶工位；晶圆扫码对位装置，位于定位工位，对上下料机构输送的晶圆进行扫码和对位；晶圆预热机构，位于预热工位，对上下料机构输送的晶圆进行预热；多个晶圆加热装置，分别设于对应的加工工位，晶圆加热装置对加工工位上的晶圆进行加热；多个点胶装置，分别设于对应的加工工位以对加热后的晶圆进行点胶。其能够

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212732807 U (45)授权公告日 2021.03.19 (21)申请号 202021418335.2 B05C 9/14 (2006.01)

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