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一种高纯度连续供气装置.pdfVIP

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  • 2023-02-21 发布于四川
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一种高纯度连续供气装置.pdf

    本实用新型公开了一种高纯度连续供气装置，涉及气体输送技术领域，其包括工艺气体输送系统、吹扫系统和抽真空系统；工艺气体输送系统包括第一供气气路、第二供气气路和输气端口，第一供气气路包括依次连接的第一供气钢瓶、第一压力表、第一调压阀和第一供气开关阀；第二供气气路包括依次连接的第二供气钢瓶、第二压力表、第二调压阀和第二供气开关阀，第一供气气路和第二供气气路的末端与输气端口相连通；吹扫系统和抽真空系统并联设置在第一供气气路和第二供气气路上。本实用新在更换不同供气钢瓶时，对第一供气气路和第二供气路进行抽空

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212746000 U (45)授权公告日 2021.03.19 (21)申请号 202021514478.3 (22)申请日 2020.07.27 (73)专利权人 上海栎智机电科技有限公司

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