一种晶圆θ角快速校平机构及系统.pdfVIP

下载本文档

0
0
约7.35千字
约 8页
2023-02-21 发布于四川
举报
版权申诉

一种晶圆θ角快速校平机构及系统.pdf

1、本文档共8页，其中可免费阅读4页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本实用新型揭示了一种晶圆θ角快速校平机构及系统。所述快速校平机构整体为L型，并且包括相互垂直设置的第一结构部和第二结构部，当以所述快速校平机构校平晶圆θ角时，所述晶圆的主对准边、副对准边分别与所述第一结构部、第二结构部紧贴，同时所述第一结构部还具有与晶圆检测平台配合的连接机构。本实用新型提供的晶圆θ角快速校平机构，可以快速校平晶圆的θ角，解决晶圆上的硅微透镜芯片在白光干涉仪的全测试、体视显微镜目检及筛选时晶圆θ角过大会降低全测试、目检及筛选效率的问题，缩短了硅微透镜芯片制备的时间，提高芯片制备效

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212725253 U (45)授权公告日 2021.03.16 (21)申请号 202022161977.5 (22)申请日 2020.09.27 (73)专利权人苏州苏纳光电有限公司