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- 2023-02-22 发布于四川
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本实用新型公开了一种MEMS微镜装配系统，包括工作台，所述工作台一侧设置有MEMS微镜封装结构主体，所述工作台靠近MEMS微镜封装结构主体的一侧开设有限位孔，所述工作台靠近限位孔的一侧固定连接有限位块，所述限位孔内侧壁光滑贴合有活动杆，本实用新型通过设置防尘罩与限位块、锥形板，防尘罩的设置避免吹向MEMS微镜封装结构主体的气流中带有较大颗粒的灰尘，锥形板的设置有利于风机更好的运转，限位块的设置避免橡胶软管波动幅度较大，该装置操作简单，使用效果更好，从而提升对MEMS微镜封装的封装速度。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212781491 U
(45)授权公告日 2021.03.23
(21)申请号 202021399892.4
(22)申请日 2020.07.15
(73)专利权人 无锡微视传感科技有限公司
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