原创力文档- 1
- 0
- 约6.49千字
- 约 8页
- 2023-02-22 发布于四川
- 举报
本实用新型公开了一种三轴直线电机运动平台，旨在提供一种结构简单、定位精度高同时具有高平面度的一种三轴直线电机运动平台。本实用新型包括底座、龙门架、双轴驱动模组以及Z轴驱动模组，所述龙门架和所述双轴驱动模组均设在所述底座上，所述龙门架设置在所述双轴驱动模组的周边，所述Z轴驱动模组包括固定座、导向块、弹簧组件、连接架以及Z轴驱动件，所述固定座设置在所述龙门架上，所述固定座设置有与所述导向块相配合的凹槽，所述Z轴驱动件与所述导向块滑动配合，所述弹簧组件设置在所述固定座的一侧，所述弹簧组件与所述连接架相
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 218487741 U
(45)授权公告日 2023.02.17
(21)申请号 202221541086.5
(22)申请日 2022.06.20
(73)专利权人 长园半导体设备（珠海）有限公司
地
文档评论（0）