一种用于多晶硅片的八道刻蚀上料机.pdfVIP

下载本文档

1
0
约7.85千字
约 8页
2023-02-22 发布于四川
举报
版权申诉

一种用于多晶硅片的八道刻蚀上料机.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本实用新型公开了一种用于多晶硅片的八道刻蚀上料机，包括机架，所述机架的顶部安装有导料组件，所述机架的两侧安装有进料组件，所述机架的一侧安装有电控箱，所述电控箱电性连接导料组件和进料组件，所述导料组件包括底板、导料滑轨和出料传输带，所述底板固定在机架的顶部，所述底板的顶部一侧平行安装有八个导料滑轨，所述导料滑轨的一侧安装有八个平行分布的出料传输带。本实用新型结构新颖，构思巧妙，传输的过程中稳定性好，避免硅片在传输的过程中振动，降低硅片隐裂的可能性，大大提升硅片上料的安全性。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212783404 U (45)授权公告日 2021.03.23 (21)申请号 202022111624.4 (22)申请日 2020.09.23 (73)专利权人无锡森顿智能科技有限公司