一种等离子清洗机推送料装置.pdfVIP

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  • 2023-02-22 发布于四川
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本实用新型涉及一种等离子清洗机推送料装置,属于半导体加工技术领域;其包括设置在机架上的推料机、构以及驱动机构,所述推料机构包括导向座、与导向座滑动连接的传送板带、设置在传送板带前端的推料头以及导向轮,所述传送板带另一端与驱动机构连接,所述传送板带设置在导向轮与导向座之间,所述传送板带经由导向轮传送后弯折,所述传送板带为弹性结构;本实用新型提供了一种等离子清洗机推送料装置,能够提高设备的空间利用效率,提升推送料的行程,提高推送效率。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212760130 U (45)授权公告日 2021.03.23 (21)申请号 202021356824.X (22)申请日 2020.07.10 (73)专利权人 昆

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