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一种化学气相沉积炉进气分布装置.pdfVIP

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  • 2023-02-22 发布于四川
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一种化学气相沉积炉进气分布装置.pdf

    本实用新型提供一种化学气相沉积炉进气分布装置。所述化学气相沉积炉进气分布装置包括：气相沉积炉进气分布设备本体；气相沉积炉体，所述气相沉积炉体包含在气相沉积炉进气分布设备本体内；排气孔，所述排气孔开设在气相沉积炉体的顶部；环形连接板，所述环形连接板固定安装在气相沉积炉体的顶部；导流管一，所述导流管一固定安装在环形连接板上；方形收纳箱，所述方形收纳箱设置在气相沉积炉体的一侧，所述方形收纳箱的顶部设有开口。本实用新型提供的化学气相沉积炉进气分布装置具有使用方便，能够简单有效的对排出的空气进行四级过滤，

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212770949 U (45)授权公告日 2021.03.23 (21)申请号 202021357059.3 (22)申请日 2020.07.10 (73)专利权人 湖南铠欣新材料科技有限公司

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