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一种电阻化学气相沉积炉引电极密封装置.pdfVIP

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  • 2023-02-22 发布于四川
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一种电阻化学气相沉积炉引电极密封装置.pdf

    本实用新型提供一种电阻化学气相沉积炉引电极密封装置。电阻化学气相沉积炉引电极密封装置，包括：炉体，所述炉体的两侧均开设有锥形安装孔；两个轴承座，两个轴承座分别固定安装在所述炉体的两侧；两个螺纹套筒，两个所述螺纹套筒分别转动安装在两个所述轴承座上；两个螺纹管，两个所述螺纹管分别螺纹安装在两个所述螺纹套筒内；两个引电极，两个所述引电极分别设于两个所述螺纹管内。本实用新型提供的电阻化学气相沉积炉引电极密封装置具有对引电极与炉体上的安装孔进行良好密封、避免锥形橡胶圈因受热而与安装孔产生缝隙而导致炉体内气

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212770945 U (45)授权公告日 2021.03.23 (21)申请号 202021326310.X (22)申请日 2020.07.08 (73)专利权人 湖南铠欣新材料科技有限公司

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