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一种碳化硅冷端烧结炉.pdfVIP

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  • 2023-02-22 发布于四川
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一种碳化硅冷端烧结炉.pdf

    本实用新型公开了一种碳化硅冷端烧结炉，涉及电热元件制造技术领域，本实用新型包括冷却炉体，冷却炉体内设置有石墨管，冷却炉体内依次设置有风冷区和水冷区，风冷区内设置有至少一个冷风机，冷风机用于对石墨管冷却，冷却炉体上对应冷风机吹风区域开设有若干散热孔A，水冷区内设置有套设在石墨管上的水冷套，水冷套内装有冷却水，本实用新型通过先风冷再进行水冷的冷却方式，具有逐渐降温冷却、符合碳化硅电热元件冷端冷却工艺、保证产品成品质量的优点。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212778680 U (45)授权公告日 2021.03.23 (21)申请号 202021486486.1 (22)申请日 2020.07.24 (73)专利权人 登

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