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- 2023-02-22 发布于四川
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本实用新型涉及一种等离子清洗机推头，属于半导体加工技术领域；其包括推料导向板以及设置在导向板前方的推块，所述推块上设有卡料豁口，所述推料导向上设有弯曲的加强槽，所述加强槽的延伸方向与推料方向平行；本实用新型提供了一种等离子清洗机推头，能够保证结构强度，减少推料卡死和空载，提高运行稳定性，使用更方便。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212760129 U
(45)授权公告日 2021.03.23
(21)申请号 202021356290.0 H01L 21/67 (2006.01)
(22)申请日 2
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