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- 2023-02-22 发布于四川
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本申请涉及晶片限位设备领域，具体而言，涉及一种片体自适应载台，一定程度上可以解决片体载台不适用于多种规格片体的问题。所述片体自适应载台包括放置座、支撑爪和驱动组件，所述支撑爪设置为至少两个且均与所述放置座滑动连接，且所述支撑爪沿靠近所述放置座中心或者远离所述放置座中心的方向滑动；所述驱动组件用于驱动所述支撑爪滑动。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 218498046 U
(45)授权公告日 2023.02.17
(21)申请号 202221835638.3
(22)申请日 2022.07.15
(73)专利权人 苏州恒嘉晶体材料有限公司
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