一种氧化铌靶材.pdfVIP

下载本文档

83
0
约4.02千字
约 5页
2023-02-22 发布于四川
举报
版权申诉

一种氧化铌靶材.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本实用新型公开了一种氧化铌靶材，包括本体，所述本体包括背管，所述背管的表面喷涂有氧化铌层，所述背管的材质为SUS圆管，所述氧化铌层通过等离子喷涂工艺喷涂在背管的表面，所述背管的外径为132.3毫米，所述背管的内径为124.4毫米，所述背管的长度为869.3毫米，所述氧化铌层的长度为785.3毫米，所述本体的直径为143.8毫米。本实用新型通过本体、背管和氧化铌层的配合，实现了使用寿命长的目的，防止氧化铌靶材使用过程中被污染，延长了氧化铌靶材的使用周期，保证了镀膜效果及膜层功能，提高了使用者对氧化

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212770921 U (45)授权公告日 2021.03.23 (21)申请号 202020915554.5 (22)申请日 2020.05.27 (73)专利权人东莞市兆广电子材料有限公司