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一种PERC太阳能电池减反射钝化膜.pdfVIP

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  • 2023-02-22 发布于四川
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一种PERC太阳能电池减反射钝化膜.pdf

    本实用新型公开了一种PERC太阳能电池减反射钝化膜，包括第一层SiNx薄膜和位于其上的第二层SiNx薄膜，在所述第一层SiNx薄膜和第二层SiNx薄膜之间设有至少一层ZnO薄膜。本实用新型在常规两层SiNx薄膜中增设ZnO薄膜，可以减少光的干涉相消，提高电池的吸光性能，而且，ZnO薄膜可以减少SiNx薄膜的厚度和释放氢的浓度，同时作为中间夹层阻止外层SiNx的H扩散到电池内部，有效降低电池的LeTID；富含H的SiNx薄膜能钝化Si表面的悬空键，减少载流子复合中心，提高光电利用效率。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212783467 U (45)授权公告日 2021.03.23 (21)申请号 202021149777.1 (22)申请日 2020.06.19 (73)专利权人 天津爱旭太阳能科技有限公司

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