一种CVD用钼块研磨机.pdfVIP

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  • 2023-02-22 发布于四川
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本实用新型涉及CVD加工技术领域,公开了一种CVD用钼块研磨机,包括单盘研磨机本体,研磨机本体上方设有四个旋转机构。本申请的有益效果为:1、钼块自转与研磨盘转动相结合,可以使钼块工作面被研磨的更加均匀,且能保证钼块工作面的平整度;2、一次可以同时研磨多个钼块,提高了钼块研磨加工效率;3、避免了研磨盘上局部受力导致不平整,减少了研磨机研磨盘停机修平时间,减少了停机等待时间,有效保证研磨盘的平整度和寿命。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212762842 U (45)授权公告日 2021.03.23 (21)申请号 202021508378.X (22)申请日 2020.07.27 (73)专利权人 河南飞孟金刚石工业有限公司

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