原创力文档- 1
- 0
- 约5.26千字
- 约 6页
- 2023-02-22 发布于四川
- 举报
本实用新型公开了一种半导体芯片用光阻液喷涂装置，包括台面，台面上设置有内置槽，内置槽的内壁上固定有支撑块，支撑块上架立有与内置槽滑动塞入的网板，网板起到一个回流过滤的效果，网板上固定有定位座，定位座内设置有半导体芯片本体，台面上固定有防护框，防护框上固定有缸体，缸体为液压缸，行程足够，推力稳定，缸体上固定有顶板。通过网板能够在喷洒光阻液时，对光阻液进行废渣过滤，通过内置槽对光阻液进行收集，最后，通过泵体抽出，实现光阻液循环使用，减少浪费。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212759317 U
(45)授权公告日 2021.03.23
(21)申请号 202021549026.9
(22)申请日 2020.07.30
(73)专利权人 固安浩瀚光电科技有限公司
您可能关注的文档
- 一种沥青路面压实度测量装置.pdf
- 用于车灯的发光模块.pdf
- 一种通用性平行输出轴用离合器.pdf
- 一种结合风粉在线监测和CO在线监测装置.pdf
- 一种耐高温耐冲击长寿的高炉渣沟.pdf
- 一种烟气污染处理用余热利用设备.pdf
- 连接机构及模板组件.pdf
- 一种海参圈巡航监控多功能船.pdf
- 一种智能泵减噪装置.pdf
- 中药原液存储装置.pdf
- 山东省2027年春季高考英语二轮复习综合检测卷.docx
- 山东省2027年春季高考英语一轮复习综合检测卷.pdf
- 山东省2027年春季高考英语一轮复习综合检测卷.docx
- 山东省2027年春季高考英语全真冲刺模拟卷（一）.pdf
- 山东省2027年春季高考设备维修类专业知识第二次模拟试题.docx
- 山东省2027年春季高考设备维修类专业知识第一次模拟试题.pdf
- 山东省2027年春季高考英语全真冲刺模拟卷（一）.docx
- 山东省2027年春季高考设备维修类专业知识冲刺模拟卷.pdf
- 山东省2027年春季高考设备维修类专业知识冲刺模拟卷.docx
- 山东省2027年春季高考设备维修类专业知识第二次模拟试题.pdf
文档评论（0）