原创力文档- 3
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- 2023-02-22 发布于四川
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本实用新型公开了一种水平等离子清洗刻蚀箱体，本实用新型的水平等离子清洗刻蚀箱体通过对电极板的修改，减小了极板表面积，提高了电能利用率，未通透的隔断式处理，保证了电极板表面的平整度，保证了极板与极板的间距，以及极板与产品的间距，通透槽提高了离子体在箱体内的流动，有利于离子体对产品残胶的轰击，有效缩短了产品处理时间，提高了产品处理速率，外部稳流水分流装置，有效调节了各极板的水流速率与水流大小，使各极板来水一致，保证了极板温度的差异，一体式物料架可一次性将物料托盘整体拉出，节省了取放产品的时间，提高了
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212760127 U
(45)授权公告日 2021.03.23
(21)申请号 202021267370.9
(22)申请日 2020.07.02
(73)专利权人 昆山索坤莱机电科技有限公司
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