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CVD反应器的晶圆固定机构.pdfVIP

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  • 2023-02-22 发布于四川
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CVD反应器的晶圆固定机构.pdf

    本实用新型公开了CVD反应器的晶圆固定机构，包括反应器本体，所述反应器本体的内腔设置有加热室和反应室，所述反应室的内腔活动连接有转盘，所述转盘的顶部设置有夹持机构，所述反应器本体的右侧设置有预加热机构，所述夹持机构包括两个支撑杆。本实用新型的有益效果为：本实用新型能够通过设置夹持机构和转盘的配合使用，使用者将晶圆放置在两个夹持板之间，通过夹持板对晶圆进行夹持，在对晶圆进行加工的时候，启动第一电机，通过第一电机带动伸缩杆进行旋转，此时伸缩杆带动夹持板进行旋转，从而达到带动晶圆进行翻转的效果，且在对

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218491841 U (45)授权公告日 2023.02.17 (21)申请号 202221729640.2 (22)申请日 2022.07.06 (73)专利权人 苏州耀德半导体有限公司 地址 2

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