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一种键合装置.pdfVIP

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  • 2023-02-22 发布于四川
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一种键合装置.pdf

    本发明公开了一种键合装置，该装置包括一用于表面活化的光源，一真空腔体、一支撑机构和一加压机构；光源用于活化两键合表面，加压机构可以在活化后施加压力辅助键合、支撑机构用于将待键合样品传送至特定位置后支撑固定待键合样品。该键合装置可以避免传统表面活化键合方法带来的界面损伤层和氧化层，实现界面具有完整的晶格结构，从而保证界面具备特定性能。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212783378 U (45)授权公告日 2021.03.23 (21)申请号 202021369670.8 (22)申请日 2020.07.13 (73)专利权人 母凤文 地址 10

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