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一种用于刻蚀工艺的抽风装置.pdfVIP

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  • 2023-02-22 发布于四川
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一种用于刻蚀工艺的抽风装置.pdf

    本实用新型公开了一种用于刻蚀工艺的抽风装置，包括抽风组件、设置在所述抽风组件的抽风管上的过滤组件，所述过滤组件包括与所述抽风管连通的壳体、位于所述壳体内且沿蒸汽流动方向间隔设置的吸附件和冷凝件，其中所述吸附件沿所述蒸汽流动方向位于所述冷凝件后端，所述冷凝件用于对所述抽风管内的蒸汽进行冷凝，所述吸附件用于对所述抽风管内的蒸汽进行吸附。本实用新型至少包括以下优点：利用吸附件和冷凝件的配合使用，能够较好的截留废气中携带的蒸汽，一方面降低药水投入的成本，另一方面能够减小后续废气塔的处理压力。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212757911 U (45)授权公告日 2021.03.23 (21)申请号 202021194164.X (22)申请日 2020.06.24 (73)专利权人 昆山宏得达精密工业有限公司

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