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一种立式化学气相沉积炉炉底加热装置.pdfVIP

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  • 2023-02-22 发布于四川
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一种立式化学气相沉积炉炉底加热装置.pdf

    本实用新型提供一种立式化学气相沉积炉炉底加热装置。立式化学气相沉积炉炉底加热装置，包括：炉体；空腔，所述空腔开设在所述炉体上；加热机构，所述加热机构设置在所述炉体的内部；两个导气管，两个所述导气管均设置在所述炉体的顶部。本实用新型提供的立式化学气相沉积炉炉底加热装置具有可以对材料进行快速方便的加热，且取料方便，加热效果好，热量不易散出，且冷却速度快的优点。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212770955 U (45)授权公告日 2021.03.23 (21)申请号 202021346196.7 (22)申请日 2020.07.10 (73)专利权人 湖南铠欣新材料科技有限公司

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