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一种便于晶圆放置的保护装置.pdfVIP

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  • 2023-02-22 发布于四川
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一种便于晶圆放置的保护装置.pdf

    本实用新型公开了一种便于晶圆放置的保护装置包括底座和支撑台。使用时，支撑台放置在底座上，晶圆盒套设在支撑台上，且晶圆盒的下端面与支撑台的上端面相抵，此时支撑台的上端伸入晶圆盒内。通过镊子或者真空吸笔将晶圆放置在晶圆盒的沟槽内时，晶圆会直接落在支撑台的上端面，缩短了晶圆自由下降的距离，从而也就减小了晶圆与支撑台接触时的速度，降低了晶圆与支撑台接触时的力，避免晶圆出现崩边或者裂纹，在晶圆在沟槽内放置完成后，缓慢向上提起晶圆盒，使晶圆完全落入沟槽内。本方案公开的便于晶圆放置的保护装置能够有效降低晶圆放

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212783396 U (45)授权公告日 2021.03.23 (21)申请号 202021543605.2 (22)申请日 2020.07.29 (73)专利权人 江苏天科合达半导体有限公司

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