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单晶硅生长炉的二次加料装置.pdfVIP

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  • 2023-02-22 发布于四川
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单晶硅生长炉的二次加料装置.pdf

    本实用新型公开一种单晶硅生长炉的二次加料装置，包括石英筒和法兰，石英筒用以储料和卸料；法兰套设于所述石英筒的外侧，用以对所述石英筒限位，包括螺纹连接的第一法兰和第二法兰，其中，所述第一法兰和/或所述第二法兰的内壁与所述石英筒之间设有胶圈，当所述第一法兰和所述第二法兰螺纹连接时，所述胶圈受挤压产成摩擦力使所述法兰定位在所述石英筒上。本实用新型提供的二次加料装置可消减如氢氧焊作业和抛磨车床作业等的多项生产环节，从而缩短生产周期，降低生产成本。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212771045 U (45)授权公告日 2021.03.23 (21)申请号 202021232911.4 (22)申请日 2020.06.29 (73)专利权人 宁晋晶兴电子材料有限公司

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