一种IGBT键合机DBC吸附固定装置.pdfVIP

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2023-02-23 发布于四川
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一种IGBT键合机DBC吸附固定装置.pdf

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本实用新型公开了一种IGBT键合机DBC吸附固定装置，包括两块固定板、DBC料板以及安置于DBC料板上的多块DBC基板，两块所述固定板之间水平设置有可竖直升降活动的DBC定位板，所述DBC定位板的下方相对平行设置有可竖直升降活动的吸盘组件，所述DBC料板活动设置于DBC定位板和吸盘组件之间的平面上；所述吸盘组件是由底板上表面设置有与DBC基板相对应的多个吸附单元构成，所述吸附单元通过气孔与底板内部的气路连通，且气路的出口通过支管和真空电磁阀外接真空抽吸设备，且真空电磁阀上设置有真空压力表，所述真

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212810263 U (45)授权公告日 2021.03.26 (21)申请号 202022258514.0 (22)申请日 2020.10.12 (73)专利权人合