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一种适用于12英寸晶圆盒改造为8英寸晶圆盒的装置.pdfVIP

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  • 2023-02-23 发布于北京
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一种适用于12英寸晶圆盒改造为8英寸晶圆盒的装置.pdf

    本实用新型公开了一种适用于12英寸晶圆盒改造为8英寸晶圆盒的装置，包括基座，所述基座的上侧对称固定连接有两个侧板，两个所述侧板相对的一侧均设置有可放置不同尺寸晶圆的调节机构，两个所述侧板相对的一侧共同固定连接有顶板，所述顶板的上侧固定连接有提手，所述顶板与基座之间设置有可限制晶圆位置的限制机构，所述基座与顶板相对的一侧共同固定连接有挡板。本实用新型结构设计合理，根据需求调整调节板的位置，无需更换不同的晶圆盒进行存放，方便夹持不同尺寸的晶圆，提高了装置的实用性。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212810252 U (45)授权公告日 2021.03.26 (21)申请号 202021545898.8 (22)申请日 2020.07.30 (73)专利权人 上海图双精密装备有限公司

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