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具有高均匀性的用于半导体表面检测的照明装置.pdfVIP

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  • 2023-02-23 发布于北京
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具有高均匀性的用于半导体表面检测的照明装置.pdf

    本实用新型提供一种具有高均匀性的用于半导体表面检测的照明装置，属于晶圆检测领域，包括光源、衰减组件、匀光组件、滤光组件、光斑调节组件、反射组件和筒镜组件；光斑调节组件用于将匀光过滤后的光束调节成预设光斑大小与预设光斑形状，光源、衰减组件、匀光组件、滤光组件和光斑调节组件依次排列并同轴共线并形成第一光路；反射组件位于第一光路的末端；筒镜组件用于接收反射组件反射的光束，反射组件与筒镜组件形成第二光路，第二光路垂直于第一光路，第二光路的光束在筒镜组件的作用下射出并照射在晶圆表面。该照明装置使得待检测晶

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218513422 U (45)授权公告日 2023.02.21 (21)申请号 202222776807.7 (22)申请日 2022.10.19 (73)专利权人 苏州矽行半导体技

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