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- 2023-02-23 发布于四川
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本实用新型公开了一种晶片抛光用抛光垫，涉及抛光垫技术领域，包括抛光盘，所述抛光盘的上表面固定连接有大凸起块，所述抛光盘的上表面固定连接有圆周阵列的小凸起块，所述抛光盘的底面设有固定板，所述固定板的上表面固定连接有环氧树脂薄板，所述环氧树脂薄板的上表面粘接有粘结胶板，所述粘结胶板的上表面与抛光盘的底面相粘接，所述固定板的上表面固定连接有魔术贴母面。本实用新型设计结构合理，它能够使抛光盘的粘接更加牢固，使抛光盘长时间使用后也能够具有稳定性，从而取代了普通的粘接方式，提高了抛光盘的使用寿命，使抛光盘起
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212794604 U
(45)授权公告日 2021.03.26
(21)申请号 202021489881.5
(22)申请日 2020.07.25
(73)专利权人 拓高工贸（苏州）有限公司
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